专门处理半导体、光伏、电子行业产生的硅烷（SiH₄）废气。硅烷易燃易爆、剧毒，必须通过燃烧分解 + 除尘 + 多级喷淋洗涤的方式彻底无害化处理：废气先在燃烧桶内充分燃烧氧化，分解为无害物质；再经除尘器去除颗粒物；随后进入燃烧喷淋塔 + 喷淋塔两级洗涤，中和吸收残留有害物质；最后通过引风机与烟囱安全达标排放。
设备组成：
